純蒸汽發生器是一種利用純化水制造純凈蒸汽的裝置。在制藥、生物技術、食品加工、電子工業等領域中，被廣泛應用于各種工藝流程中，包括滅菌、干燥、清洗以及材料生產等。
純蒸汽發生器的工藝原理主要包括水質處理、蒸汽產生、升溫冷卻控制、回收凝結水等方面。
1、水質處理
純蒸汽發生器所使用的水源必須純化至高度純凈水(WFI)級別。水質處理工藝主要是通過反滲透和離子交換方式提高水質。
反滲透是一種通過高壓將水分子從低濃度溶液中轉移到高濃度溶液中的工藝。通過反滲透工藝，水中的礦物質、離子、金屬、微生物等雜質被過濾，獲得了高純度的水。
離子交換是利用樹脂對水中的離子進行特異性吸附，進一步提升水質。在離子交換器中，陽離子樹脂可以去除水中的陰離子，而陰離子樹脂可以去除陽離子。
在水的處理過程中，要注意避免對水的二次污染。因此，在處理水的設備中一般都采用了密閉的設計，并安裝了制藥級別的過濾器和 UV 燈殺菌系統來確保水的純凈度。
2、蒸汽產生
純蒸汽發生器的主要功能是將高純度的水轉變成純凈的蒸汽，蒸汽的純凈度需要達到 WFI級別。蒸汽的產生需要依靠高壓蒸汽發生器。
在 HPG 房間內，通過加熱水產生高溫高壓的蒸汽。蒸汽在HPG中產生后，通過一系列的管道與后續的工藝設備連接，將純蒸汽輸送到設備中進行操作。
3、升溫冷卻控制
在移動過程中和在設備接觸時，純蒸汽發生器的純凈度可能會下降。因此，在使用純蒸汽發生器時，需要控制和保持純蒸汽發生器中的溫度和壓力，以保證純蒸汽的質量和純度。
升溫控制主要是逐步將水加熱到一定溫度，將水轉變成蒸汽。冷卻控制則是在制造蒸汽時，需要加入制冷劑，以降低溫度和壓力，并對蒸汽進行控制。這個過程將提高純蒸汽質量，并增加蒸汽的純度。
4、回收凝結水
在純蒸汽發生器的使用過程中，還需要考慮處理廢水和廢氣。為了使得純蒸汽發生器的使用更加經濟和環保，通常采用回收凝結水的方式，將凝結水回收再利用。
凝結水處理過程包括收集、回收和處理。在收集階段，蒸汽通過一些管道和設備向各個區域輸送，并沉淀和收集到凝結水。然后，通過回收和處理，將凝結水變成可以再次使用的水來進行操作。
